半導(dǎo)體制造業(yè)使用進口真空泵的原理

半導(dǎo)體制造業(yè)使用進口真空泵的原理
    進口真空泵顧名思義就是抽真空的泵，提供抽除真空的一種機械設(shè)備，目前我國制造業(yè)大部分是使用進口真空泵，我發(fā)真空泵發(fā)展史僅有50年，使用行業(yè)非常廣泛，尤其是在半導(dǎo)體行業(yè)。
    真空泵作為半導(dǎo)體制造行業(yè)的一種主要的生產(chǎn)設(shè)備，愈來愈要求安全可靠。當(dāng)烴油密封的旋轉(zhuǎn)泵用于光刻去膠等有氧的場合，有時會發(fā)生爆炸。原子化的油霧、熱的油蒸氣、摩擦、壓縮、較高的溫度、外 物、可能的靜電等，一旦與氧結(jié)合便可能危害環(huán)境。而這些因素，真空泵里都有。在泵里采用氮等惰性氣體作為氣爆，并用氮來減小油箱里的氧濃度(使氧濃度低于 25%)，可使發(fā)生爆炸的危險性減小.這個方法已被半導(dǎo)體制造行業(yè)采用.新的真空泵將更能適應(yīng)集成電路制造工藝中的腐蝕要求，例如可用陶瓷、耐熔金屬和貴金屬制造。
    展望 50年后，許多半導(dǎo)體制造甚至可以帶到外層空間去進行!未來的真空泵將僅僅是工藝處理室后面的一只面向著深遠莫測外層空間的閥門而已!